API XD LASER激光干涉儀

API XD LASER激光干涉儀

API激光干涉儀基于高質(zhì)量檢測標(biāo)準(zhǔn)和針對以上各參數(shù)項(xiàng)的檢測需求，使用XD LASER激光干涉儀，API激光干涉儀一次安裝即可同時(shí)實(shí)現(xiàn)對：線性定位誤差（定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙）、直線度誤差（XX方向和YY方向）、垂直度誤差、以及角度誤差（俯仰角、偏擺角、滾動角）的檢測（如圖2示意），測量效率較傳統(tǒng)激光干涉儀提升五倍以上！

XD LASER激光干涉儀特征特點(diǎn)

01 API激光干涉儀實(shí)現(xiàn)線性定位誤差測量：包括定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙；

02 API激光干涉儀實(shí)現(xiàn)直線度測量：包括垂直于運(yùn)動軸方向的兩個(gè)方向（豎直、水平）的直線度；

03 API激光干涉儀實(shí)現(xiàn)角度測量：運(yùn)動中的俯仰角、偏擺角、滾動角；

04一次安裝可同時(shí)測量上述參數(shù)，無需更換光學(xué)組件，效率較傳統(tǒng)干涉儀提高五倍以上；

05直線度和角度測量中不怕斷光，可以替代準(zhǔn)直儀使用，對安裝進(jìn)行指導(dǎo)調(diào)整；

06安裝靈活方便，可以選擇多種安裝方式，即使在※苛刻的擁擠環(huán)境也可便捷使用；

07精密型可選，充分滿足工廠及實(shí)驗(yàn)室使用需求。

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